Dị ka anyị niile maara, e nwere ọtụtụ nkọwa nke sputtering lekwasịrị, na ngwa ha ubi nwekwara nnọọ obosara.Ụdị ebumnuche ndị a na-ejikarị na mpaghara dị iche iche dịkwa iche iche.Taa, ka anyị mụta maka nhazi nke mpaghara ngwa sputtering na onye nchịkọta akụkọ RSM!
1, Definition nke sputtering lekwasịrị anya
Ịgbapụ bụ otu n'ime teknụzụ ndị bụ isi maka ịkwadebe ihe nkiri dị mkpa.Ọ na-eji ion nke ion na-emepụta na-eme ngwa ngwa ma na-agbakọta na oghere iji mepụta oghere ion dị elu, na-agbanye elu ahụ siri ike, na ions na-agbanwe ike nke ike na atom ndị dị n'elu elu siri ike, nke mere na atom na ihe siri ike. A na-ekewapụ elu site na ihe siri ike ma debe ya n'elu ala.Ihe siri ike na-atụ bọmbụ bụ ihe eji akwadebe ihe nkiri ahụ dị mkpa nke a na-etinye na sputtering, nke a na-akpọ sputtering target.
2. Nkewa nke sputtering lekwasịrị ngwa ubi
1. Semiconductor lekwasịrị anya
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: ebumnuche ndị a na-ahụkarị na mpaghara a gụnyere ọla ndị na-agbaze dị elu dị ka tantalum / ọla kọpa / titanium / aluminom / ọla edo / nickel.
(2) Ojiji: a na-ejikarị ya dị ka isi akụrụngwa maka sekit agbakwunyere.
(3) Arụmọrụ chọrọ: elu teknụzụ chọrọ maka ịdị ọcha, nha, ntinye, wdg.
2. Ebumnuche maka ngosipụta panel dị larịị
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: ebumnuche ndị a na-ahụkarị na mpaghara a gụnyere aluminom / ọla kọpa / molybdenum / nickel / Niobium / silicon / chromium, wdg.
(2) Ihe eji eme ihe: a na-ejikarị ụdị ebumnuche a eme ihe maka ụdị fim dị ukwuu dị ka TV na akwụkwọ ndetu.
(3) Arụmọrụ chọrọ: ihe dị elu chọrọ maka ịdị ọcha, nnukwu mpaghara, ịdị n'otu, wdg.
3. Ihe mgbaru ọsọ maka cell cell
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: aluminum / ọla kọpa / molybdenum / chromium / ITO / Ta na ebumnuche ndị ọzọ maka sel anyanwụ.
(2) ojiji: tumadi eji na "window oyi akwa", mgbochi oyi akwa, electrode na conductive film.
(3) Arụmọrụ chọrọ: elu oru chọrọ na obosara ngwa nso.
4. Ebumnuche maka nchekwa ozi
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: ebumnuche nkịtị nke cobalt / nickel / ferroalloy / chromium / tellurium / selenium na ihe ndị ọzọ maka nchekwa ozi.
(2) Ojiji: a na-ejikarị ụdị ihe a lekwasịrị anya maka isi magnetik, oyi akwa etiti na oyi akwa ala nke ngwa anya na diski anya.
(3) Arụmọrụ chọrọ: nnukwu nchekwa nchekwa na nnukwu nnyefe ọsọ achọrọ.
5. Ebumnuche maka mgbanwe ngwá ọrụ
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: ebumnuche ndị a na-ahụkarị dị ka titanium / zirconium / chromium aluminom alloy ejiri ngwaọrụ gbanwere.
(2) Ojiji: a na-ejikarị eme ka elu elu dị ike.
(3) Arụmọrụ chọrọ: nnukwu ọrụ chọrọ na ogologo ndụ ọrụ.
6. Ezubere maka ngwaọrụ eletrọnịkị
(1) Ebumnuche ndị a na-ahụkarị: ebumnuche aluminom / silicon maka ngwaọrụ eletrọnịkị
(2) Nzube: n'ozuzu eji maka mkpa film resistors na capacitors.
(3) Arụmọrụ chọrọ: obere nha, nkwụsi ike, obere nguzogide okpomọkụ ọnụọgụ
Oge nzipu: Jul-27-2022