N'oge na-adịbeghị anya, ọtụtụ ndị enyi jụrụ gbasara njirimara molybdenum sputtering targets.N'ime ụlọ ọrụ eletrọnịkị, iji mee ka ọ dị mma nke ọma ma hụ na ihe nkiri a na-etinye na ya dị mma, kedu ihe ndị a chọrọ maka njirimara nke molybdenum sputtering targets?Ugbu a ndị ọkachamara ọkachamara sitere na RSM ga-akọwara anyị ya.
1. Ịdị ọcha
Ịdị ọcha dị elu bụ njirimara bụ isi achọrọ maka ebumnuche sputter molybdenum.Ka ịdị ọcha nke ebumnuche molybdenum dị elu, nke a na-eme ka ihe nkiri na-agbapụta nke ọma ka mma.N'ozuzu, ịdị ọcha nke molybdenum sputtering lekwasịrị anya kwesịrị ịbụ opekata mpe 99.95% (oke ntakiri, otu n'okpuru).Otú ọ dị, site na ọganihu na-aga n'ihu nke nha nke iko iko na ụlọ ọrụ LCD, a na-achọ ka ogologo nke wiring na-agbatị na linewidth dị mkpa.Iji hụ na ịdị n'otu nke ihe nkiri ahụ na ịdị mma nke wiring, ịdị ọcha nke molybdenum sputtering target na-achọkwa ịbawanye ya.Ya mere, dị ka nha nke iko iko na gburugburu ebe obibi, ịdị ọcha nke molybdenum sputtering a chọrọ ka ọ bụrụ 99.99% - 99.999% ma ọ bụ karịa.
A na-eji ebumnuche molybdenum sputtering mee ihe dị ka isi iyi cathode na sputtering.Ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe siri ike na ikuku oxygen na mmiri dị na pores bụ isi ihe mmetọ nke ihe nkiri ndị a na-edebe.Tụkwasị na nke ahụ, na ụlọ ọrụ eletriki, n'ihi na ion ions alkali (Na, K) dị mfe ịghọ ion mobile na mkpuchi mkpuchi, arụ ọrụ nke ngwaọrụ mbụ na-ebelata;A ga-ahapụ ihe ndị dị ka uranium (U) na titanium (TI) α X-ray, na-ebute mmebi dị nro nke ngwaọrụ;Ígwè na nickel ion ga-eme ka mwepu interface na mmụba nke ihe oxygen.Ya mere, na usoro nkwadebe nke molybdenum sputtering target, ihe adịghị ọcha ndị a kwesịrị ịchịkwa nke ọma iji belata ọdịnaya ha na ebumnuche.
2. Mkpụrụ ọka na oke nkesa
N'ozuzu, ebumnuche sputter molybdenum bụ polycrystalline, na nha ọka nwere ike ịdị site na micron ruo millimeter.Nsonaazụ nnwale na-egosi na ọnụ ọgụgụ sputtering nke ezigbo ebumnuche ọka na-agba ọsọ karịa nke ebumnuche ọka siri ike;Maka ebumnuche na obere nha nha nha nha nha, oke nkesa nke ihe nkiri echekwara bụkwa otu.
3. nghazi kristal
N'ihi na atom ndị e lekwasịrị anya dị mfe ka a na-efesa ya nke ọma n'akụkụ ntụzịaka nke nhazi kacha nso nke atọm na ntụzịaka hexagonal n'oge sputtering, iji nweta ọnụego sputtering kachasị elu, ọnụego sputter na-abawanye site n'ịgbanwe usoro kristal nke ebumnuche.Ntuziaka kristal nke ebumnuche ahụ nwekwara mmetụta dị ukwuu na nha nha nke ihe nkiri a na-agbapụta.Ya mere, ọ dị ezigbo mkpa ịnweta ụfọdụ nhazi ebumnuche kristal maka usoro ịgbasa ihe nkiri ahụ.
4. Densification
N'ime usoro nke mkpuchi mkpuchi, mgbe a na-atụ bọmbụ na-agbapụta ihe na-agbapụta na obere njupụta, a na-ahapụ gas dị n'ime oghere nke ihe mgbaru ọsọ ahụ na mberede, na-eme ka ọkpụkpụ ma ọ bụ ihe ndị dị na ya na-ebu ibu, ma ọ bụ ihe nkiri ahụ na-atụ bọmbụ. site na electrons nke abụọ mgbe emechara ihe nkiri, na-ebute mkpọpu ihe.Ọdịdị nke ihe ndị a ga-ebelata ịdị mma nke ihe nkiri ahụ.Iji belata pores na ebumnuche siri ike ma melite arụmọrụ ihe nkiri ahụ, a na-achọkarị ihe na-agbapụta sputter iji nwee nnukwu njupụta.Maka ebumnuche sputter molybdenum, njupụta ya kwesịrị ịbụ karịa 98%.
5. Njide nke lekwasịrị anya na chassis
N'ozuzu, molybdenum sputtering target ga-ejikọta ya na oxygen free ọla kọpa (ma ọ bụ aluminum na ihe ndị ọzọ) chassis tupu sputtering, nke mere na thermal conductivity nke lekwasịrị na chassis dị mma n'oge usoro sputtering.Mgbe ejikọtara, a ga-emerịrị nyocha ultrasonic iji hụ na mpaghara na-abụghị nke abụọ na-erughị 2%, iji mezuo ihe achọrọ nke ịgbasa ike dị elu na-enweghị ịdaba.
Oge nzipu: Jul-19-2022