Dị ka anyị niile maara, ikuku evaporation na ion sputtering na-ejikarị na mkpuchi mkpuchi.Kedu ihe dị iche n'etiti mkpuchi evaporation na mkpuchi sputtering?Ọzọ, ndị ọkachamara teknụzụ sitere na RSM ga-eso anyị kerịta.
Mkpuchi evaporation na-ekpo ọkụ bụ ikpo ọkụ ihe a ga-ebupụ na okpomọkụ ụfọdụ site na ikpo ọkụ ọkụ ma ọ bụ ọkụ eletrik na bombu laser na gburugburu ebe obibi nke na-enweghị ihe na-erughị 10-2Pa, nke mere na ike vibration ọkụ nke molekul ma ọ bụ. atọm n'ime ihe karịrị ike njikọ nke elu, nke mere na ọnụ ọgụgụ buru ibu nke molekul ma ọ bụ atọm evaporate ma ọ bụ sublimate, na ozugbo precipitate na mkpụrụ na-etolite a film.Ion sputtering mkpuchi na-eji elu-ọsọ ije nke nti ion n'ihi na gas mwepu n'okpuru omume nke eletriki ubi ka bombard lekwasịrị anya dị ka cathode, nke mere na atọm ma ọ bụ ụmụ irighiri ihe ndị dị na iche iche gbanarị na ịkpali elu nke plated workpiece na-etolite. ihe nkiri a chọrọ.
Ụzọ a na-ejikarị eme ihe nke ikuku evaporation mkpuchi bụ ikpo ọkụ ọkụ, nke nwere uru nke usoro dị mfe, ọnụ ala na ọrụ dị mma;Mwepu bụ na ọ dịghị mma maka refractory ọla na elu okpomọkụ na-eguzogide ọgwụ dielectric ihe.Igwe ọkụ ọkụ eletrik na ọkụ laser nwere ike imeri adịghị ike nke ikpo ọkụ ọkụ.Na ọkụ ọkụ eletrik, a na-eji ọkụ eletrọn lekwasịrị anya na-ekpo ọkụ ozugbo ihe a gbanyere agbanyere, na ike kinetic nke ọkụ eletrik na-aghọ ike ọkụ, nke na-eme ka ihe ahụ pụta.Igwe ọkụ laser na-eji laser dị elu dị ka isi iyi ọkụ, ma n'ihi ọnụ ahịa dị elu nke laser dị elu, enwere ike iji ya na ụlọ nyocha ole na ole ugbu a.
Teknụzụ ịgbasa mmiri dị iche na teknụzụ ikuku evaporation.“Sputtering” na-ezo aka n'ihe na-eme ka ụmụ irighiri ihe na-agbaba n'elu ebe siri ike (ebumnobi) wee mee ka atom ma ọ bụ ụmụ irighiri ihe siri ike na-agbapụ n'elu.Ọtụtụ n'ime ụmụ irighiri ihe ndị a na-ewepụta dị na steeti atọ, nke a na-akpọkarị atom sputtered.Ụmụ irighiri ihe ndị a wụsara a na-eji na-atụ bọmbụ nwere ike ịbụ eletrọn, ion ma ọ bụ ihe ndị na-anọpụ iche.N'ihi na ion dị mfe ịgbatị ngwa ngwa n'okpuru oghere eletrik iji nweta ike kinetic achọrọ, ihe ka ọtụtụ n'ime ha na-eji ion dị ka ụmụ irighiri ihe.Usoro ịgbasa na-adabere na mwepu na-egbuke egbuke, ya bụ, ion sputtering na-abịa site na nsị gas.Teknụzụ sputtering dị iche iche na-eji ụdị mwepu ọkụ dị iche iche.DC diode sputtering na-eji DC glow ihapu;Triode sputtering bụ ihe na-egbuke egbuke nke cathode na-ekpo ọkụ na-akwado;RF sputtering na-eji RF glow mwepu;Magnetron sputtering bụ ihe na-egbuke egbuke nke oghere magnetik na-achịkwa.
E jiri ya tụnyere mkpuchi ikuku evaporation, mkpuchi sputtering nwere ọtụtụ uru.Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịgbasa ihe ọ bụla, karịsịa ihe ndị na-emepụta ihe na ogige ndị nwere nnukwu agbaze na nrụgide ikuku dị ala;Adhesion n'etiti ihe nkiri sputtered na mkpụrụ dị mma;Njupụta ihe nkiri dị elu;Enwere ike ịchịkwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ na nkwughachi dị mma.Ihe ọghọm bụ na akụrụngwa dị mgbagwoju anya ma chọọ ngwaọrụ voltaji dị elu.
Na mgbakwunye, nchikota nke usoro evaporation na usoro sputtering bụ ion plating.Uru nke usoro a bụ na ihe nkiri a na-enweta nwere ike na-ejikọta ya na mkpụrụ osisi, ọnụ ọgụgụ dị elu na ntinye ihe nkiri dị elu.
Oge nzipu: Jul-20-2022