Sputtered lekwasịrị anya ihe nwere elu chọrọ n'oge ojiji, ọ bụghị nanị maka ịdị ọcha na urughuru size, kamakwa maka edo urughuru size.Ihe ndị a dị elu na-eme ka anyị na-aṅa ntị karịa mgbe anyị na-eji ihe ebumpụta ụwa.
1. Nkwadebe sputtering
Ọ dị ezigbo mkpa ịnọgide na-adị ọcha nke oghere oghere, karịsịa usoro sputtering.Ihe mmanu mmanu, uzuzu, na ihe ọ bụla sitere na mkpuchi ndị gara aga nwere ike ịkwakọba ihe ndị na-emetọ ihe dị ka mmiri, na-emetụta oghere ahụ ozugbo ma na-abawanye ohere imepụta ihe nkiri.A na-ebutekarị sekit dị mkpirikpi, ịgba agba agba, ebe a na-emepụta ihe nkiri na-adịghị mma, na adịghị ọcha kemịkalụ gabiga ókè site n'ọnụ ụlọ na-efesa adịghị ọcha, égbè, na ebu.
Iji nọgide na-enwe njirimara mejupụtara nke mkpuchi ahụ, gas na-agbapụta (argon ma ọ bụ oxygen) ga-adị ọcha ma kpọọ nkụ.Mgbe etinyere mkpụrụ n'ime ụlọ sputtering, ọ dị mkpa ka ewepụtara ikuku iji nweta ọkwa oghere achọrọ maka usoro ahụ.
2. ihicha ebumnuche
Ebumnuche nke ihicha ebumnuche bụ iwepu uzuzu ma ọ bụ unyi ọ bụla nwere ike ịdị n'elu ebumnuche ahụ.
3. Echichi ebumnuche
Ihe kachasị mkpa ị ga-aṅa ntị n'oge usoro ntinye nke ihe a na-achọsi ike bụ iji hụ na njikọ ọkụ dị mma n'etiti ihe a na-achọsi ike na mgbidi dị jụụ nke egbe sputtering.Ọ bụrụ na mgbidi dị jụụ ma ọ bụ efere azụ na-agbagọ nke ọma, ọ nwere ike ime ka mgbawa ma ọ bụ gbadaa n'oge ntinye nke ihe ezubere iche.A ga-enwe mmetụta dị ukwuu na mbufe ọkụ site na azụ azụ gaa na ihe a na-atụ anya ya, na-eme ka enweghi ike ikpochapụ okpomọkụ n'oge ịgbasa, n'ikpeazụ na-eduga na mgbawa ma ọ bụ ntụgharị nke ihe a na-eche.
4. Obere sekit na nyocha akara
Mgbe echichi nke ihe ezubere iche, ọ dị mkpa ịlele obere sekit na akara nke cathode dum.A na-atụ aro ka iji ohmmeter na megohmmeter chọpụta ma cathode dị mkpụmkpụ.Mgbe o kwenyechara na cathode abụghị obere okirikiri, enwere ike ime nchọpụta ntanye site n'itinye mmiri n'ime cathode iji chọpụta ma ọ bụrụ na ọ dị.
5. Target ihe tupu sputtering
A na-atụ aro ka iji gas argon dị ọcha maka ịgbasa ihe a na-achọsi ike, nke nwere ike ihicha elu nke ihe a chọrọ.A na-atụ aro ka iji nwayọọ nwayọọ mụbaa ike sputtering n'oge usoro mgbasa ozi maka ihe ezubere iche.Ike nke seramiiki lekwasịrị anya
Oge nzipu: Ọktoba 19-2023