Ojiji a na-eji ihe ezubere iche eme ihe n'ọrụ dị iche iche na-eme ka ọchịchọ nke ihe ezubere iche dị elu na elu.Ndị a Anyị ga ewebata nkenke ị kedu ihe bụ isi ọrụ chọrọ nke ebumnuche, hoping inyere gị aka.
Ịdị ọcha: Ịdị ọcha bụ otu n'ime ihe ndị bụ isi na-egosi ọrụ nke ebumnuche, n'ihi na ịdị ọcha nke ihe mgbaru ọsọ na-enwe mmetụta dị ukwuu na ọrụ nke ihe nkiri ahụ.Mana n'omume, ịdị ọcha nke ihe ezubere iche abụghị otu.Dịka ọmụmaatụ, site na mmụba ngwa ngwa nke ọrụ microelectronics, nha nke silicon wafer amalitela site na 6 ", 8" ruo 12 ", na obosara wiring ebelatala site na 0.5um ruo 0.25um,0.18um na ọbụna 0.13um.Ozugbo 99.995% nke ịdị ọcha ebumnuche nwere ike imezu ihe teknụzụ chọrọ nke 0.35UMIC.Nkwadebe nke ahịrị 0.18um chọrọ 99.999% ma ọ bụ ọbụna 99.9999% ịdị ọcha nke ihe ebumnuche.
Njupụta: Iji belata porosity na ebumnuche siri ike ma melite ọrụ nke ihe nkiri sputtering, ihe a na-achọkarị ka ọ nwee nnukwu njupụta.Njupụta nke ebumnuche na-emetụta ọ bụghị naanị ọnụego sputtering kamakwa ọkụ eletrik na ngwa anya nke ihe nkiri.Ihe dị elu nke ihe a na-atụ anya ya, ọrụ nke ihe nkiri ahụ ka mma. Tụkwasị na nke ahụ, a na-amụba njupụta na ike nke ihe a na-achọsi ike iji mee ka ọ dịkwuo mma iguzogide nrụgide okpomọkụ n'oge sputtering.Njupụta bụkwa otu n'ime ihe ndị dị mkpa na-egosi ọrụ ezubere iche.
Ọdịnaya adịghị ọcha: adịghị ọcha na ebumnuche siri ike na ikuku oxygen na ikuku mmiri na pores bụ isi mmalite mmetọ nke ihe nkiri a na-akwakọba.Dịka ọmụmaatụ, ebumnuche aluminom na aluminom dị ọcha ejiri na ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe pụrụ iche chọrọ maka ọdịnaya ọla alkali na ọdịnaya mmewere redioaktivu.
Oge nzipu: Jun-06-2022