Ebumnuche nwere ọtụtụ ọrụ yana ngwa obosara n'ọtụtụ mpaghara.Akụrụngwa ọhụrụ na-agbapụta ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ iji magnets dị ike na-agbagharị electrons iji mee ka ionization nke argon gburugburu ihe mgbaru ọsọ, na-abawanye ohere nke nkukota n'etiti ebumnuche na argon ion,
Mee ka ọ̀tụ̀tụ̀ ikposa ahụ dị elu.N'ozuzu, a na-eji sputtering DC maka mkpuchi igwe, ebe a na-eji sputtering nkwurịta okwu RF maka ihe ndọta seramiiki na-adịghị eduzi.Ụkpụrụ bụ isi bụ iji mgbawa ọkụ na-akụ ion argon (AR) n'elu ebe a na-achọsi ike na oghere, na cations na plasma ga-agba ọsọ ọsọ gaa na electrode na-adịghị mma dị ka ihe na-agbapụ.Mmetụta a ga-eme ka ihe ndị e lekwasịrị anya na-efepụ ma tinye ya na mkpụrụ iji mepụta ihe nkiri.
N'ozuzu, e nwere ọtụtụ atụmatụ nke mkpuchi ihe nkiri na-eji usoro sputtering:
(1) Enwere ike ime metal, alloy ma ọ bụ insulator ka ọ bụrụ data ihe nkiri dị mkpa.
(2) N'okpuru ọnọdụ ntọala kwesịrị ekwesị, ihe nkiri ahụ nwere otu ihe ahụ nwere ike ime site na ọtụtụ ebumnuche na mgbagwoju anya.
(3) Enwere ike ịme ngwakọta ma ọ bụ ngwakọta nke ihe ezubere iche na ụmụ irighiri gas site na ịgbakwụnye oxygen ma ọ bụ gas ndị ọzọ na-arụ ọrụ na ikuku ikuku.
(4) Enwere ike ịchịkwa ntinye ntinye nke ugbu a na oge sputtering, ọ dịkwa mfe ịnweta ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị elu.
(5) Ọ bara uru na mmepụta ihe nkiri ndị ọzọ.
(6) The sputtered irighiri ihe na-esi ike ike ndọda emetụta, na ezubere iche na mkpụrụ nwere ike hazie free.
Oge nzipu: Mee-24-2022