1. Nkwadebe na-agba agba
Ọ dị ezigbo mkpa idobe oghere oghere, ọkachasị sistemu sputter dị ọcha.Ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ nke a na-emepụta site na mmanu mmanu, uzuzu na mkpuchi gara aga ga-anakọta vapor mmiri na ihe ndị ọzọ na-emerụ emerụ, nke ga-emetụta kpọmkwem ogo agụụ ma mee ka ohere nke ịmepụta ihe nkiri.A na-ebutekarị sekit dị mkpụmkpụ ma ọ bụ ịgba ọkụ, elu ihe nkiri siri ike na ọdịnaya adịghị ọcha nke kemịkalụ na-ebutekarị site na ọnụ ụlọ na-adịghị ọcha, egbe ịgbasa na ebumnuche.Iji jide n'aka na njirimara mejupụtara nke mkpuchi ahụ, ọ dị mkpa iji kpochapụ ma kpoo gas na-agbapụta (argon ma ọ bụ oxygen).Mgbe etinyere mkpụrụ ahụ n'ime ụlọ a na-agbapụta, ọ dị mkpa ka a na-ewepụta ikuku iji ruo oghere nke usoro ahụ chọrọ.Ekwesịrị idobe ihe mkpuchi mkpuchi na mpaghara gbara ọchịchịrị, mgbidi oghere na elu dị n'akụkụ ya dị ọcha.Mgbe ị na-ehicha oghere oghere, anyị na-akwado iji bọọlụ bọọlụ gbawara agbawa iji mesoo akụkụ uzuzu uzuzu, yana ikuku abịakọrọ iji wepụ ihe ndị na-agbapụta n'oge n'akụkụ ụlọ ahụ, wee jiri nwayọọ na-eji akwụkwọ aja alumina na-ekpochapụ elu ahụ.Mgbe emechara akwụkwọ gauze ahụ, a na-asacha ya na mmanya, acetone na mmiri deionized.Ọnụ, ọ na-akwado iji ihe mkpocha ụlọ ọrụ maka nhicha inyeaka.Ebumnuche ndị Gaozhan metal rụpụtara na-ejupụta na akpa rọba mechiri emechi,
Ewubere ya n'ụlọnga na-egbochi mmiri.Mgbe ị na-eji ebumnuche, biko ejila aka gị metụ ihe mgbaru ọsọ ahụ aka ozugbo.Mara: mgbe ị na-eji ebumnuche, biko yi uwe nchekwa dị ọcha na nke na-enweghị ntụpọ.Ejila aka gị emetụ ihe mgbaru ọsọ aka
2. Nzube ihicha
Ebumnuche nke ihicha ebumnuche bụ iwepu uzuzu ma ọ bụ unyi nwere ike ịdị n'elu ebumnuche ahụ.
Enwere ike ihicha ebumnuche ọla ahụ na nzọụkwụ anọ,
Nzọụkwụ mbụ bụ iji akwa dị nro na-enweghị lint na-ehicha ya na acetone;
Nzọụkwụ nke abụọ yiri nzọụkwụ mbụ, ihicha mmanya na-aba n'anya;
Nzọụkwụ 3: dị ọcha na mmiri deionized.Mgbe ịsachara na mmiri deionized, tinye ihe mgbaru ọsọ na oven wee kpoo ya na 100 ℃ maka nkeji 30.
A ga-eji akwa "lint free" mee ihe nhicha nke oxide na seramiiki.
Nzọụkwụ nke anọ bụ ịsacha ihe mgbaru ọsọ na argon na nnukwu nrụgide na obere mmiri gas mgbe ọ wepụsịrị ebe uzuzu uzuzu, ka e wee wepụ ihe niile na-adịghị ọcha nke nwere ike ịmepụta arc na usoro sputtering.
3. Target ngwaọrụ
N'ime usoro ntinye nke ebumnuche, Z dị mkpa ịkpachara anya bụ iji hụ na njikọ ikuku dị mma n'etiti ebumnuche na mgbidi jụrụ oyi nke egbe sputtering.Ọ bụrụ na warpage nke stave jụrụ oyi siri ike ma ọ bụ warpage nke efere azụ dị njọ, ngwaọrụ ezubere iche ga-agbawa ma ọ bụ gbagọrọ agbagọ, a ga-emetụtakwa conductivity thermal conductivity si n'azụ lekwasịrị anya, na-ebute ọdịda nke ikpo ọkụ ọkụ. n'ime usoro mgbasa ozi, na ebumnuche ga-agbawa ma ọ bụ tụfuo
Iji hụ na conductivity thermal, a oyi akwa nke graphite akwụkwọ nwere ike padded n'etiti cathode jụrụ mgbidi na ihe mgbaru ọsọ.Biko ṅaa ntị iji nlezianya lelee ma mee ka ọ dị larịị nke mgbidi jụrụ oyi nke egbe sputtering na-eji iji hụ na O-mgbanaka na-adị mgbe niile.
Ebe ọ bụ na a ga-edobe ịdị ọcha nke mmiri jụrụ oyi na-eji na ájá nke nwere ike ime n'oge a na-arụ ọrụ nke ngwá ọrụ na tank mmiri nke cathode jụrụ oyi, ọ dị mkpa iji chọpụta ma hichaa mmiri mmiri na-ekpo ọkụ cathode mgbe ị na-etinye ihe mgbaru ọsọ iji hụ na ọ dị mma. mgbasa nke mmiri jụrụ oyi na na a gaghị egbochi ntinye na ntinye.
A na-eme atụmatụ ụfọdụ cathodes ka ha nwee obere oghere na anode, ya mere, mgbe ị na-etinye ihe mgbaru ọsọ, ọ dị mkpa iji hụ na ọ dịghị aka ma ọ bụ onye nduzi n'etiti cathode na anode, ma ọ bụghị obere sekit ga-eme.
Rụtụ aka na ntuziaka onye na-ahụ maka akụrụngwa maka ozi gbasara otu esi arụ ọrụ nke ọma.Ọ bụrụ na enweghị ozi dị otú ahụ na ntuziaka onye ọrụ, biko gbalịa ịwụnye ngwaọrụ dịka aro ndị dị mkpa nke Gaozhan metal nyere.Mgbe ị na-eme ka ihe a na-achọsi ike sie ike, buru ụzọ mee ka otu bolt sie ike site na aka, wee jiri aka mee nke ọzọ na diagonal.Tinyegharịa nke a ruo mgbe bolts niile dị na ngwaọrụ ahụ siri ike, wee jiri ihe mee ka ọ sie ike.
4, Short sekit na tightness nnyocha
Mgbe emechara ngwaọrụ ebumnuche, a chọrọ ka ịlele obere sekit na tightness nke cathode dum.
A na-atụ aro iji chọpụta ma enwere obere sekit na cathode site na iji mita nguzogide
Ahịrị ịkpa oke.Mgbe o kwusịrị na ọ dịghị obere sekit dị na cathode, a pụrụ ime nchọpụta nkwụsị, na mmiri nwere ike ịbanye n'ime cathode iji gosi ma ọ dị mmiri mmiri.
5, Target tupu sputtering
Target pre sputtering na-akwado ịdị ọcha argon sputtering, nke nwere ike ihicha elu nke ebumnuche.Mgbe ebum n'uche bu ụzọ gbasaa, a na-akwado ka iji nwayọọ nwayọọ na-abawanye ike sputtering, na ike mmụba ọnụego nke seramiiki lekwasịrị anya bụ 1.5WH / cm2.The tupu sputtering ọsọ nke metal lekwasịrị anya nwere ike dị elu karịa nke seramiiki lekwasịrị block, na ezi uche abawanye ọnụego bụ 1.5WH / cm2.
Na usoro nke tupu sputtering, anyị kwesịrị ịlele arcing nke lekwasịrị anya.Oge tupu sputtering oge na-adịkarị ihe dị ka nkeji iri.Ọ bụrụ na ọ dịghị arcing onu, na-aga n'ihu na-abawanye na sputtering ike
Na ike setịpụrụ.Dị ka ahụmahụ si kwuo, ike dị elu Z nke a na-anakwere nke mgbakwasa ọla bụ
25watts / cm2, 10watts / cm2 maka ebumnuche seramiiki.Biko rụtụ aka na ntọala ntọala na ahụmịhe nke nrụgide ụlọ agụụ mgbe ị na-efesa n'akwụkwọ ntuziaka ọrụ nke onye ọrụ.N'ozuzu, ọ kwesịrị ijide n'aka na mmiri okpomọkụ dị na ntinye nke mmiri jụrụ oyi kwesịrị ịdị ala karịa 35 ℃, ma Z ọ dị mkpa iji hụ na usoro mgbasa ozi nke mmiri jụrụ oyi nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma.
Mgbasa ngwa ngwa nke mmiri na-ekpo ọkụ na-ewepụ okpomọkụ, nke bụ ihe dị mkpa na-ekwe nkwa iji hụ na ịgbasa na-aga n'ihu na ike dị elu.Maka ebumnuche ígwè, a na-akwadokarị na mmiri na-eme ka mmiri dị jụụ bụ
20lpm mmiri mgbali bụ banyere 5gmp;Maka ebumnuche seramiiki, a na-akwadokarị na mmiri na-eru 30lpm na nrụgide mmiri dị ihe dịka 9gmp.
6. Nkwalite ebumnuche
Iji gbochie obere sekit na arcing nke oghere na-adịghị ọcha na-eme n'ime usoro mgbasa ozi, ọ dị mkpa iji wepụ sputter gbakọtara na etiti na n'akụkụ abụọ nke egwu egwu na nkebi,
Nke a na-enyekwara ndị ọrụ aka ka ha na-efesa n'oke ike z
7. Nchekwa ebumnuche
A na-akwakọba ebumnobi ndị Gaozhan metal nyere na akpa rọba oghere oghere okpukpu abụọ.Anyị na-akwado ka ndị ọrụ na-edobe ebumnuche, ma metal ma ọ bụ seramiiki, na nkwakọ ihe efu.Karịsịa, ekwesịrị ịchekwa ebumnuche njikọ ahụ n'okpuru ọnọdụ oghere iji gbochie oxidation nke oyi akwa njikọ ahụ ka ọ ghara imetụta àgwà njikọ.N'ihe gbasara nkwakọba ebumnuche igwe, anyị na-akwado na a ga-etinye Z na akpa rọba dị ọcha
Oge nzipu: Mee-13-2022