Ebumnuche nwere nnukwu ahịa, mpaghara ngwa na nnukwu mmepe n'ọdịnihu.Iji nyere gị aka inwe nghọta ka mma ọrụ ebumnuche, ebe a n'okpuru injinia RSM ga-ewebata obere ọrụ achọrọ nke ebumnuche ahụ.
Ịdị ọcha: ịdị ọcha bụ otu n'ime isi ihe na-egosi ọrụ nke ebumnuche, n'ihi na ịdị ọcha nke ebumnuche nwere mmetụta dị ukwuu na ọrụ nke ihe nkiri ahụ.Otú ọ dị, na ngwa bara uru, ihe ndị chọrọ ịdị ọcha nke ebumnuche dịkwa iche.Dịka ọmụmaatụ, na mmepe ngwa ngwa nke ụlọ ọrụ microelectronics, a na-agbasa nha nke silicon wafer site na 6 "ruo 8" ruo 12 ", na obosara wiring na-ebelata site na 0.5um ruo 0.25um, 0.18um ma ọ bụ ọbụna 0.13um.Na mbụ, 99.995% nke ebumnuche ịdị ọcha nwere ike izute usoro chọrọ nke 0.35umic, ebe nkwadebe nke ahịrị 0.18um chọrọ 99.999% ma ọ bụ ọbụna 99.9999% nke ịdị ọcha ebumnuche.
Ọdịnaya adịghị ọcha: adịghị ọcha dị n'ihe siri ike lekwasịrị anya na ikuku oxygen na ikuku mmiri dị na pores bụ isi mmalite mmetọ nke ihe nkiri echekwara.Ebumnuche maka ebumnuche dị iche iche nwere ihe dị iche iche chọrọ maka ọdịnaya adịghị ọcha dị iche iche.Dịka ọmụmaatụ, ebumnuche aluminom na aluminom dị ọcha ejiri na ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe pụrụ iche chọrọ maka ọdịnaya ọla alkali na ọdịnaya mmewere redioaktivu.
Njupụta: iji belata pores na ebumnuche siri ike ma melite ọrụ nke ihe nkiri sputtering, a na-achọkarị ihe mgbaru ọsọ ka ọ nwee nnukwu njupụta.Njupụta nke ebumnuche ọ bụghị naanị na-emetụta ọnụego sputtering, kamakwa ọ na-emetụta ọrụ eletriki na ngwa anya nke ihe nkiri ahụ.Nke dị elu nke njupụta ebumnuche, ọrụ nke ihe nkiri ahụ ka mma.Tụkwasị na nke ahụ, a na-emeziwanye njupụta na ike nke ihe mgbaru ọsọ ahụ ka ihe mgbaru ọsọ wee nwee ike ịnakwere nrụgide okpomọkụ na usoro mgbasa ozi.Njupụta bụkwa otu n'ime isi ọrụ na-egosi ebumnuche.
Oge nzipu: Mee-20-2022